本所聲明  |  OA  |  ARP  |  English  |  郵箱  |  舊版首頁

美國Georgia Institute of Technology教授Thomas K Gaylord來所進行學術交流

來源: 發布時間:2014-09-23 09:07:20

  98日上午,美國Georgia Institute of Technology教授Thomas K Gaylord 到上海光機所進行學術交流。Thomas K Gaylord教授是嚴格耦合波算法(RCWA)的提出者,該算法目前已成爲光柵嚴格矢量計算中使用最普遍的工具。Thomas K Gaylord教授在溢智廳作了關于多光束幹涉光刻的報告,全所科研人員共20余人參加了本次報告會信息光學與光電技術實驗室副主任周常河研究員主持了會議。 

  在報告中,他首先介紹了多光束幹涉光刻的基本原理和技術實現,以及利用該方法所可以制作的微納周期性結構,並指出該方法的優點和缺陷;隨後,又具體報告了圖案集成幹涉光刻的原理,並詳細介紹了他們實驗室在圖案集成幹涉光刻領域的最新進展。報告結束後,與會人員與Thomas K Gaylord教授深入地討論了多光束幹涉光刻的技術實現和應用等相關問題,報告現場學術氣氛濃厚。 

  下午,Thomas K Gaylord教授參觀了空間激光信息技術研究中心和高功率激光物理聯合實驗室,並重點參觀了信息光學與光電技術實驗室,與相關的研究人員進行了細致地交流和討論。Thomas K Gaylord教授對上海光機所周常河研究員衍射光柵研發工作很感興趣,認爲其中的激光直寫工程化系統非常先進,處于領先地位,並對大尺寸光柵制造所取得的成就表示祝賀。(信息光學與光電技術實驗室供稿)。